電子/半導體
氮化矽 silicon nitride。

一種低壓化學氣相沉積的製程,用於半導體元件的電晶體成形過程的元素之一,例如作為阻障層與蝕刻中止層的介電材料。特點是:高溫自蔓燃法生?,效率高、成本低、質量穩定可靠,可大批量生?;用於高級耐火原料、冶金保護渣原料、機械刀具原料、特種磨料。








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