電子/半導體
LPE Liquid phase epitaxy。液態磊晶技術。
是將磊晶層藉由過飽和的磊晶溶液成長在單晶的基板上。LPE主要用在發光二極體(LED)上。液態磊晶技術的優點有:長出高品質的磊晶層,系統成本低,以及材料性質的再現性相當高。缺點則是表面形態比其它磊晶技術的磊晶表面形態要差,晶格常數的限制,以及異質磊晶成長時有接面漸變現象存在。







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