電子/半導體
氧化法 Oxidation。
把一塊矽晶片的表面變為二氧化矽的處理方法。在很高的溫度下,將氧氣或氣流通過矽晶片,表面就被氧化而形成很薄的一層二氧化矽。這層二氧化矽不易被外界污染物所滲透,因此具有保護其底層矽半導不受污染或擴散作用。







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