電子/半導體
Float polishing 浮動拋光。
將研磨液倒入加工槽中,直到能淹蓋被加工物表面之水面,然後將設有槽溝之轉盤和被加工物高速旋轉,依據流入兩者間研磨液之動壓流體潤滑,被加工物並不和轉盤接觸,而在浮動狀態下進行研磨之方法。







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