電子/半導體
疊層缺陷 stacking fault。
面缺陷之一種,是指在一個原子面上以錯誤之順序,加以堆積所造成的缺陷,也就是對於正規的堆積,增多一個原子面或漏掉一個原子面之構造。主要產生在結晶生長中,特別以磊晶法生長之矽晶圓,在氧氣中加熱之矽晶圓表面最常看見。







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