電子/半導體
位錯密度 Dislocation density。

是指結晶中之位錯量。

表示位錯量的方式有兩種:
(1).以每單位面積有多少條位錯線穿過:一般而言,以每單位面積之腐蝕坑數來表之,而稱為EPD,其單位以「個/平方公分」表示之。

(2).以每單位體積之位錯線之長度加以合計者:其單位以「公分/立方公分」表示之。因位錯在試料中呈現不均勻分布,通常在某表面取數點加以測試,再採用其平均值以表示。








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