電子/半導體
退火熱處理 Annealing。
主要是檢查矽晶圓之表面缺陷為主之熱處理。在攝氏1000度左右,經過一次數十小時之熱處理,稱為退火熱處理。







相關字
COB
MBE
低溫二相磊晶成長法
晶圓
pHEMT