電子/半導體
Bright etching 光亮蝕刻。
對矽晶圓進行多量的蝕刻,稱為光亮蝕刻。通常是指除去40μm以上矽品圓厚度的蝕刻,然而不同的蝕刻液,蝕刻量亦有差異。矽晶圓之蝕刻量愈多其光澤度愈大。







相關字
位錯密度
固態擴散
Polishing cloth
光罩
Template