電子/半導體
Vacuum plate 真空吸附板。
是用作吸附、保持晶圓或平板等之平板中,當對單片晶圓加以研磨時,作為將晶圓加以固定之被加工物保持板。就保持方法而言,有真空吸附方法或使用模板裝配之以水黏貼等非膠接方式。吸附板大都使用陶瓷材質。







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